同時，云端大數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)流實時處理（real-time analytical processing）推動著高性能計算機芯片的研發(fā)；終端的存儲一體化運算（in-memory computing，IMC）對新一代存儲器單元設計有了更新的要求。無論是云端或是終端的芯片設計，當前與未來都要具有人工智能的機器學習功能，云端芯片更多地解決并提升深度學習中的“訓練”(training)能力, 終端芯片則更多地解決并提升深度學習中的“推理”(inference)能力。

 

5G/IoT的專用集成電路的市場需求，云端終端的智能芯片發(fā)展要求，從架構到系統(tǒng)，包括電路設計與物理設計與版圖設計項目，已經(jīng)擺在了芯片設計團隊的面前。這些設計包括了集成電路的標準設計、半定制設計和全定制設計。芯片制造商通常僅提供通用型單元庫（generic library）因而IoT需要更多半定制、5G需要全定制的版圖設計。

 

 

針對5G/IoT技術的迫切需求，本文介紹集成電路產(chǎn)業(yè)中版圖設計技術的簡要過程，從而講述標準版圖設計、半定制設計與全定制版圖設計的應用，并以5G/IoT場合的高性能和高速數(shù)據(jù)率相關的IP進行簡短的討論，版圖設計質(zhì)量對最終系統(tǒng)的影響等。文末強調(diào)版圖設計與系統(tǒng)芯片、MCU芯片與模擬和混合信號設計以及與射頻芯片設計的緊密相關和依賴性，重點說明版圖設計在集成電路產(chǎn)業(yè)中的重要角色。

 

1． 集成電路的版圖設計方法

 

集成電路設計方法涉及面廣，內(nèi)容復雜，其中版圖設計是集成電路物理實現(xiàn)的基礎技術。版圖設計的質(zhì)量好壞直接會影響到集成電路的功耗、性能和面積。在系統(tǒng)芯片（system-on-chip, SoC）設計中，集成了接口單元(input/output,I/O),標準邏輯單元(standard cell)，模擬與混合信號(analog mixed-signal, AMS)模塊，存儲器(memory,例如ROM,RAM)和多種IP模塊。所有這些模塊的物理實現(xiàn),全都離不開基本的版圖設計。

 

 

工程實踐中，從定義系統(tǒng)芯片參數(shù)（specifications）完成后，人們常常將最常見的數(shù)字集成電路中標準邏輯單元的版圖設計過程簡化為電路設計（circuit design）、版圖設計（layout design）和特征化（characterization）等三個步驟，見圖1簡化的版圖設計流程圖。在實踐中，版圖設計類型又分為: 1)標準版圖設計，2)半定制版圖設計，和3)全定制版圖設計。

 

圖1 集成電路版圖設計的簡化流程圖

 

2．集成電路中的標準版圖設計

 

標準版圖設計通常用于數(shù)字集成電路的標準單元庫、輸入輸出單元庫等。存儲器的版圖設計屬于半定制版圖設計，它的存儲單元（例如RAM cell）的版圖采用標準單元庫的設計方法,其余部分則為不規(guī)則的版圖設計。模擬與混合信號（analog mixed-signal, AMS）的版圖設計以及射頻電路的版圖設計則屬于全定制的版圖設計。

 

標準單元庫中包括兩大類單元：(1)組合邏輯（combinational）單元,例如反向器與非門、選擇器等。（2）時序邏輯（sequential）單元，例如寄存器、鎖存器、存儲器等。

 

對于數(shù)字電路中的標準單元設計，是從布爾邏輯(Boolean logic)描述并定義單元的邏輯關系開始，接著是電路設計(schematic capture或circuit design)與電路仿真(circuit simulation)，而后開始版圖設計。版圖設計需要符合制造工藝規(guī)則檢查（design rule check，DRC）和版圖電路一致性檢查（layout versus schematic，LVS）通過才算完成，這時，版圖設計的結果用“圖形顯示系統(tǒng)第二版”（graphic display system II，GDSII）文件記載，并作為芯片制造中制作掩模板（mask）的依據(jù)。數(shù)字電路的標準單元和I/O單元完成版圖設計后，還要做寄生參數(shù)(電阻R電容C)提取（parasitic extraction，RCX）,供電路設計者作進一步擬合優(yōu)化處理，這種反標方法(back-annotation)也是芯片級設計的重要步驟之一。圖2給出了比較完整的版圖設計全流程圖。

 

圖2 集成電路版圖設計的全流程圖

 

從標準單元和I/O單元的版圖設計結果，需要產(chǎn)生物理信息和時序信息供芯片物理設計布局布線（place & route，P&R）使用。物理信息以單元庫交換格式（library exchange format，LEF）文件表達，它是在相應的GDSII文件的基礎上，“忽略”底層信息，僅僅保留并提取金屬1層（metal 1，M1）以及更上層的多邊形（polygon）數(shù)據(jù)作為P&R使用，這樣就會極大地加快P&R的運行速度，縮短時序收斂時間。例如，對于存儲器版圖的LEF文件，會使用到M1，M2甚至M3的信息。

   

圖3 集成電路標準版圖設計中標準單元具有同等高度與不同寬度

 

對于標準單元的版圖，根據(jù)工藝要求，標準邏輯單元的高度是固定的，寬度為最小單元寬度的公約數(shù)倍數(shù)，例如在圖3中，左圖為反向器（inverter，INV）的版圖，中圖為選擇器（multiplexer，MUX）的版圖，右圖為D型寄存器的(D-Flip Flop, DFF)的版圖。如上所述，從版圖設計中，可以導出并建立GDSII和LEF文件。GDSII文件經(jīng)過設計簽核（design sign-off）過程由代工廠使用于芯片制造，LEF文件用于全芯片的P&R物理設計。

 

標準單元的時序信息過去曾經(jīng)以時序庫單元格式（timing library format，TLF）文件表達，目前以自由時序庫單元格式（liberty，“.lib”）文件表達。產(chǎn)生時序庫文件需要根據(jù)制造工藝調(diào)用SPICE模型，比如最常用的BISM4模型；根據(jù)制造工藝參數(shù)，進行庫單元時序仿真，例如Hspice和Spectre仿真器。

 

從相應的GDSII文件中，根據(jù)半導體器件物理基礎參數(shù)，提取單元電路的輸入輸出負載（CL），提取其靜態(tài)功耗和動態(tài)功耗數(shù)據(jù)，建立一套數(shù)據(jù)庫，在做功耗分析和低功耗設計時使用。CMOS的總功耗 Ptotal= Pstatic + Pdynamic，靜態(tài)功耗Pstatic與工藝參數(shù)相關，而動態(tài)功耗Pdynamic與CL相關。因此，在做各種版圖設計時，應當盡量減小輸入輸出端的電容，從而提高庫單元速度即芯片的性能。

 

另一方面，對于180nm或者更加先進的工藝，信號完整性（signal integrity, SI）分析成為必不可少的步驟。人們知道，在CMOS電路的翻轉過程除了受信號上升或下降時間(transition time,也稱作slew rate)快慢有關之外,與其柵極的閾值(threshold voltage)極其相關。當輸出輸入電壓的斜率達到1時，即|tan(Vout/Vin)|=1（該點稱作統(tǒng)一增益點，Unity Gain Point，UGP)，若有臨近的并行信號線通過電容耦合（coupling capacitance）產(chǎn)生“噪聲（noise）”信號與“受害者”的時鐘或者數(shù)據(jù)信號迭加，就會破壞正常數(shù)據(jù)信號的傳遞甚或使得設計失效。

 

如此可見，標準單元的版圖設計結果是產(chǎn)生時序單元格式文件的來源。由于單元延時與信號輸入端的翻轉時間tslew（transition time）以及負載（CL）相關，因此，時序單元格式文件中的延時函數(shù)為f(tslew，CL),用三維表格表示，兩個數(shù)據(jù)之間的中間值使用多項式（polynomial）簡化插值方法產(chǎn)生，供計算時序時使用。另一方面，標準單元的功耗信息和信號完整性信息函數(shù)同樣與(tslew，CL)相關,也用三維表格表示。時序單元文件的時序、功耗和SI等豐富信息，將用于全芯片物理設計過程中的靜態(tài)時序分析（static timing analysis，STA）、功耗分析和信號完整性分析。芯片代工廠(foundry)通常只提供通用型GP (general purpose) 單元庫,例如TSMC從40nm及以下工藝才開始提供低功耗(LP)單元庫和超低功耗(ULP)單元庫。若采用65nm及以上的工藝,用戶應當自行設計,并且產(chǎn)生完整的單元庫文件GDSII, LEF 和 “.lib” 等。

 

在版圖設計中人們可以使用工藝設計包(process design kit, PDK),或者稱作 “工藝設計錦囊”，這當然給版圖設計帶來了極大的便利。但是，在很多工程設計中,人們還是離不開很多基礎設計步驟。例如，參數(shù)化的標準單元（parameterized cell，Pcell）可以幫助工程人員直接定義CMOS晶體管的大小并且直接調(diào)用，在28nm或者更先進工藝條件下，還需要考慮制造誤差比如光學臨近誤差（optical proximity correction, OPC）等帶來的影響，對版圖設計進行校正。

 

3．集成電路中的半定制版圖設計

 

在半定制版圖設計中，例如具有6個晶體管的SRAM或者僅有1個晶體管1個電容的DRAM，它們的標準小單元（RAM cell）高度和寬度尺寸設置與上一節(jié)所說的標準邏輯單元無關，需要單獨設計，見圖4。這一類設計既要兼顧標準版圖設計的通用性,又要考慮到重復使用單元在當前模塊設計中使用的靈活性。早期英特爾公司的CPU芯片的設計就采用了很多半定制的版圖設計，這種版圖設計技巧也會用于高性能計算機芯片的CPU設計之中。比如CPU中的數(shù)據(jù)通道(datapath)部分如果使用標準單元，則往往成為實現(xiàn)高性能的瓶頸，而采用半定制的專門設計，才會更好地提高整個芯片的性能。

 

圖4 半定制版圖設計中重復使用的RAM單元具有不同高度與不同寬度

(從左往右: 6T-SRAM單元電路及其版圖, 1T1C-DRAM單元電路及其版圖)

 

還有一類特殊的半定制版圖稱為客戶自有技術（Custom-Owned Tooling，COT）模塊，在專用集成電路（application specific integrated circuit，ASIC）中經(jīng)常采用。閃存存取器（flash memory）的基本單元（NAND和NOR單元）與上述SRAM和DRAM的基本單元類似，也是采用半定制版圖設計。眾所周知,NAND閃存已經(jīng)廣泛用于新型的固態(tài)存儲器(solid state drive, SSD)中。目前,數(shù)字電路基本單元常常工作在幾百兆赫茲(MHz)的頻率。DRAM新一代產(chǎn)品，即先進的雙數(shù)據(jù)率同步動態(tài)存儲器(double data rate synchronous dynamic RAM, DDR SDRAM)系列(最新版本為DDR4)和LPDDR系列(最新版本LPDDR5)數(shù)據(jù)率達到了6.4Gbps)，可以廣泛用于5G通信和汽車電子的芯片設計中。

 

上面討論到，Pcell可以幫助工程人員直接定義CMOS晶體管的大小，可以直接調(diào)用或者方便地更換從而對設計不斷進行優(yōu)化。在28nm或者更先進工藝條件下，尤其是模擬電路對工藝參數(shù)根據(jù)敏感并直接影響到性能。這些問題可以通過約束控制設計(constraint-driven design, CDD)方法加以克服。比如,在進行差分對晶體管設計時，工程人員可以調(diào)用約束文件，對差分對電路進行控制配對，實現(xiàn)預定的性能。

 

與標準時序單元相比,存儲器的時序關系比較復雜。通常前者主要關注“時鐘(CLK_)”與“數(shù)據(jù)(DATA_)”信號之間的建立(setup)時間和(hold)時間; 后者還要額外處理“地址(ADD_)”、“控制(CONTR_)”、“讀(RE_)” 、“寫(WR_)” 、“使能(EN_)”等信號關系。

 

熟練地掌握了標準單元版圖設計之后，對于半定制版圖設計方能駕輕就熟，舉一反三，并借助CDD方法，很好地處理設計規(guī)則并符合工藝制造的要求。一般說來，數(shù)字電路的標準單元或者其他電路設計由前端（front-end）工程師完成；版圖設計則由后端（back-end）工程師完成。在模擬和混合信號模塊或者芯片設計中，電路設計與版圖設計溶為一體，才能達到更好的性能要求。

 

4．集成電路中的全定制版圖設計

 

在模擬和混合信號芯片設計中,更多地采用了全定制版圖設計方法；尤其是射頻電路的芯片設計，基本上必須通過全定制版圖設計來實現(xiàn)，這樣才能有效地達到電路的設計目標，比如，信號耦合與匹配，有源區(qū)器件和無源區(qū)器件的實現(xiàn)，高頻參數(shù)電感和自感參數(shù)的控制和優(yōu)化等。

 

模擬和混合信號芯片設計包括常見的模擬前端控制器（analog front-end, AFE）、模數(shù)轉換器(analog-digital converter, ADC)、數(shù)模轉換器(digital-analog converter, DAC)、運算放大器(op-amp)和比較器(comparator)等。

5G通信采用的頻段規(guī)范稱作“5G新空口”(5G New Radio，5G NR),使用6 GHz以下頻率以及毫米波波段,見圖5。數(shù)據(jù)率為10~20Gbps

 

圖5 5G NR頻率和5G NR毫米波頻率范圍

 

射頻無線通信技術包括蜂鳥(ZigBee，IEEE 802.15.4)，無線(WiFi,2.4GHz/5GHz,IEEE 802.11)，藍牙(最新版本Bluetooth 5.0, 2.4~2.483.5GHz)和藍牙低功耗（Bluetooth Low Energy，BLE, SIG/IEEE 802.15.1）和全球互通微波訪問(WiMax, 3.5~5.8GHz, IEEE 802.16d; 2.3,2.5,3.5GHz,IEEE 802.16e)等5種標準。與這些通信技術相關的射頻芯片設計包括IoT常用的接口，例如串并聯(lián)接口（Serial Parallel Interface，SPI）模塊，射頻功率放大器（RF PA），低噪聲放大器（low noise amplifier，LNA），壓控振蕩器（voltage-controlled oscillator, VCO），混頻器（frequency mixer），濾波器（filter）等。

 

射頻無線模塊或者獨立的射頻芯片,從電路設計到版圖設計,完全屬于全定制設計方式。設計人員在標準版圖設計和半定制版圖設計的基礎上,不斷開發(fā)出專用的芯片射頻產(chǎn)品。圖6為某射頻公司自行設計的5GHz通信產(chǎn)品全定制版圖案例,即版圖為全手工設計,芯片制造采用180nm射頻工藝,其數(shù)據(jù)率達到5Gbps。

 

圖6 某射頻公司5Gbps通信產(chǎn)品全定制(手工)版圖設計案例

 

藍牙芯片產(chǎn)品開發(fā)相對比較困難，射頻的性能與功耗是衡量藍牙芯片的重要指標，包括數(shù)據(jù)傳輸速率、信號延時與穩(wěn)定性等都是芯片開發(fā)與研究的挑戰(zhàn)。包括采用40nm的CMOS藍牙芯片的亞閾值建模與電路仿真，版圖后仿真與優(yōu)化等。目前，不少射頻應用芯片已經(jīng)向40nm以下的先進工藝開發(fā),這時,設計人員需要器件建模（例如BSIM6仿真模型）和全定制版圖設計雙管齊下。

 

熟練地掌握了標準單元版圖設計和半定制版圖設計之后，對于全定制版圖設計方能駕輕就熟，運用自如，以CDD方法加以輔助，則更好地處理模擬混合信號和射頻設計規(guī)則的特殊要求，例如電感和互感對版圖的影響，及其工藝制造后的實測結果。

 

5．高性能與高速芯片設計與版圖設計

 

物聯(lián)網(wǎng)和5G聯(lián)網(wǎng)通信中除了信號收發(fā)單元(transceiver, TRX 以及TX/RX)設計芯片之外,離不開專用的系統(tǒng)芯片SoC,其中高性能與高速核心IP往往決定了SoC的性能和速度。常見的高性能與高速核心IP有: PCIe, 10 Gigabit Ethernet (10 GbE), RapidIO, SerDes, USB等。表1列出了幾種物聯(lián)網(wǎng)和5G時代常用的高性能與高速IP的信號速度和數(shù)據(jù)率。

 

第1代PCIe總線技術最早于2003年提出,它源自英特爾公司的第3代輸入輸出3GIO技術。2017年PCIe第4代提出,2019年將開發(fā)PCIe第5代。英偉達公司注重機器學習中數(shù)據(jù)處理GPU芯片的開發(fā),目前采用PCIe第2代產(chǎn)品,已經(jīng)實現(xiàn)了16Gbps數(shù)據(jù)率。

 

高速IP接口吉比特以太網(wǎng)10GbE (IEEE 820.3ae-2002)采用全工協(xié)議(full-duplex protocol),用來處理以太網(wǎng)的高數(shù)據(jù)率數(shù)據(jù),廣泛用于需要高帶寬的企業(yè)服務器和數(shù)據(jù)中心等, 表1列出了10GbE (連接MAC層和PHY層的)的兩種接口參數(shù),即4通道XAUI模式和單通道XFI/KR模式。

 

RapidIO用來作為與處理器之間的信號互聯(lián),大量用在數(shù)據(jù)中心和高性能計算機嵌入式芯片設計中,也用于異構系統(tǒng)(heterogeneous system architecture, HSA)芯片中,包括人工智能芯片采用的CPU,DSP,GPU等設計。

 

表1 物聯(lián)網(wǎng)和5G常用IP模塊的信號速度和數(shù)據(jù)率比較

 

由上表可見,使用高速IP時離不開相關IP設計的控制器(Controller)模塊和物理層(PHY)模塊的設計,它們必須滿足3~10GHz信號頻率要求,相應的數(shù)據(jù)率10~40Gbps對于芯片的版圖設計充滿了技術挑戰(zhàn)。

 

6．當代及未來5G/IoT應用對版圖設計技術影響

針對高端數(shù)字芯片的性能要求,設計公司為了滿足需求,會專門投入研發(fā)人員,重新對標準單元庫進行電路優(yōu)化和版圖設計,如第2小節(jié)中“標準版圖設計”所說,還要重新產(chǎn)生一套單元庫文件,包括GDSII, LEF和 “.lib”等。對于半定制設計版圖,比如COT模塊等,除了注意邊界處的走線,也要產(chǎn)生“灰盒子”時序文件。IoT相關芯片以MCU為主的SoC, 其中若干種IP模塊和無線模塊包括NB-IoT, LoRa, 藍牙等, 給半定制和全定制版圖設計帶來新的生命。5G時代的應用場景有三種不同的無線接入模式，包括以消費類為主的增強移動寬帶(enhanced Mobile Broadband, eMBB)技術，以智慧機器人和無人駕駛等為主的超高可靠超低時延通信(Ultra-reliable low latency communication, URLLC)和大規(guī)模機器通信(massive Machine‐Type Communication, mMTC)。這些多樣化的應用場景會對射頻電路芯片電路與版圖設計帶來新的技術挑戰(zhàn)和產(chǎn)品需求。

 

因此, 在5G 和IoT時代, 無論是標準單元版圖設計,半定制版圖設計和全定制版圖設計,基本的設計方法得到發(fā)揚傳承,高性能、低功耗、低成本的要求提得更高,對未來高質(zhì)量高可靠性版圖設計設立了新的規(guī)范和起點。例如，用于深度學習的芯片設計，由于涉及到海量數(shù)據(jù)計算，已經(jīng)使用算力單位千兆(1012, tera operations per second, TOPS）為參考,使用能效比（TOPS/W）作為衡量芯片架構和設計的總體檢測指標。最新的2019年國際固體電路會議(International Solid-State Circuits Conference, ISSCC)分組文章都做了詳盡的討論。

 

參考文獻

 

[1] 王陽元主編,《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》,2018年,北京:電子工業(yè)出版社(ISBN 978-7-121-34822-8)。

[2] 陳春章,集成電路設計方法中EDA的角色，《微納創(chuàng)新》，2018年夏，總第08期，第34~39頁。

[3]  陳春章,王國雄,艾霞,《數(shù)字集成電路物理設計》,2008年,北京:科學出版社(ISBN 978-7-03-022031-8)。

[4] ISSCC 2019,https://submissions.mirasmart.com/ISSCC2019/PDF/ISSCC2019AdvanceProgram.pdf