產(chǎn)品特性：

• 配備多個(gè)非接觸溫度傳感器
• 感度高、測(cè)量溫度范圍廣

應(yīng)用范圍：

• 醫(yī)療器械

歐姆龍近日展出了兩款MEMS傳感器。一款是MEMS流量傳感器，已經(jīng)投入量產(chǎn)。該傳感器在醫(yī)療器械中，用于濃縮氧裝置。另一款是正在開(kāi)發(fā)的MEMS溫度傳感器。

此次的傳感器由以下部件組成：（1）將遠(yuǎn)紅外線聚光至傳感器芯片上的硅透鏡；（2）配備多個(gè)非接觸溫度傳感器——熱電堆元件的MEMS元件；（3）將傳感器的輸出換算為溫度的MCU。傳感器包括排列8個(gè)熱電堆元件的產(chǎn)品以及將該元件以4×4排列的產(chǎn)品。

通過(guò)安裝多個(gè)熱電堆元件，可利用非接觸方式同時(shí)測(cè)量多個(gè)區(qū)域的溫度。雖然還取決于MCU配備的軟件，不過(guò)基本能測(cè)量5～6m遠(yuǎn)處的溫度。與焦電傳感器不同，還可測(cè)量靜止?fàn)顟B(tài)的測(cè)量對(duì)象。因此，可以一次性檢查多人病房中的患者是否全在病房。

測(cè)量溫度范圍為0～50℃。噪聲等效溫度差（NETD）為0.2℃。視角為8度/元件。與該公司以前開(kāi)發(fā)的MEMS溫度傳感器相比，感度提高了50％。利用MCU換算的溫度可經(jīng)由I2C接口輸出到外部。