產(chǎn)品特性：

• 采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)
• 產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS

應(yīng)用范圍：

• 帶動了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展

國機(jī)集團(tuán)所屬沈陽儀表院承擔(dān)的沈陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗(yàn)收。

該項(xiàng)目采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設(shè)計(jì)、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有創(chuàng)新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術(shù)水平達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流。

項(xiàng)目建成了年生產(chǎn)能力一萬臺的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn)，并首次實(shí)現(xiàn)智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國產(chǎn)化配套，打破了國外的技術(shù)封鎖，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。同時(shí)，作為上游核心器件，該項(xiàng)研究帶動了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，解決了有表無芯的問題，有效地支撐了高端裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)。