【泰克先進(jìn)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室】遠(yuǎn)山半導(dǎo)體發(fā)布新一代高壓氮化鎵功率器件
氮化鎵功率器件因其高速開關(guān)能力、高功率密度和成本效益而成為市場(chǎng)的熱門選擇。然而,由于工作電壓和長(zhǎng)期可靠性的制約,這些器件的潛力并未得到充分發(fā)揮,主要在消費(fèi)電子領(lǐng)域內(nèi)競(jìng)爭(zhēng)價(jià)格。近期,隨著高壓氮化鎵器件的陸續(xù)推出,我們看到了它們?cè)诟鼜V泛市場(chǎng)應(yīng)用中的潛力。
遠(yuǎn)山半導(dǎo)體最近發(fā)布了新一代高壓氮化鎵功率器件,并在泰克先進(jìn)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了詳盡的測(cè)試,這些測(cè)試結(jié)果為我們提供了對(duì)遠(yuǎn)山半導(dǎo)體氮化鎵功率器件性能的全面了解。目前,遠(yuǎn)山現(xiàn)有產(chǎn)品包括700V、1200V、1700V、3300V等多種規(guī)格的藍(lán)寶石基氮化鎵功率器件,多項(xiàng)性能指標(biāo)處于行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先,主要應(yīng)用于高功率PD快充、車載充電器、雙向DC-DC、微型逆變器、便攜儲(chǔ)能、V2G等領(lǐng)域。
測(cè)試概覽
泰克先進(jìn)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室在今年9月收到了遠(yuǎn)山半導(dǎo)體寄送的新一代常開型(Normally-ON)高壓氮化鎵器件。為了解決氮化鎵功率器件固有的電流崩塌問(wèn)題,他們采用特有的極化超級(jí)結(jié)(PSJ:Polarization Super Junction)技術(shù),將器件的額定工作電壓和工作電流提升到(1200V/20A)。
對(duì)于器件的直流參數(shù),選擇在靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)SPT1000A上進(jìn)行測(cè)試。系統(tǒng)內(nèi)置吉時(shí)利2657A高壓源表和2636B高精度源表,最高可以支持3000V,1000A下的I-V和C-V特性測(cè)試。
在柵極電壓-8V,Id=1uA的條件下,這款氮化鎵功率器件的擊穿電壓BVDSS達(dá)到1505V。器件的閾值電壓約為-3.9V。在器件導(dǎo)通條件下,Vgs=3V,Id=20A時(shí),我們測(cè)得的靜態(tài)導(dǎo)通電阻僅為 62.3mΩ。下圖為關(guān)斷條件下,漏電流Idss與反偏電壓(0~1500V)的掃描關(guān)系曲線。
關(guān)斷狀態(tài)下反偏電壓與漏電流關(guān)系曲線
在過(guò)往對(duì)氮化鎵功率器件的動(dòng)態(tài)開關(guān)參數(shù)測(cè)試中,采用DFN8x8封裝的功率器件多為650V電壓等級(jí),雙脈沖開關(guān)測(cè)試大多在400V條件下進(jìn)行。在高壓測(cè)試中,氮化鎵器件比較容易出現(xiàn)電流崩塌現(xiàn)象,表現(xiàn)為硬開關(guān)過(guò)程中,導(dǎo)通電阻突然增大,如下圖所示:
傳統(tǒng)氮化鎵功率器件在高壓條件下開關(guān)測(cè)試容易出現(xiàn)的電流崩塌現(xiàn)象
下圖是遠(yuǎn)山半導(dǎo)體提供的DFN8*8封裝GaN HEMT器件在高壓600V以及20A條件下進(jìn)行開關(guān)測(cè)試的波形,柵極電壓為-6V~+3V,使用同型號(hào)氮化鎵器件作為陪測(cè)。(測(cè)試條件:同型號(hào)D-Mode 常開型氮化鎵器件,Ron = Roff = 1Ω,負(fù)載電感 75uH,Vds: 600V,Vgs: -6V~+3V, Id: 20A)
在測(cè)試過(guò)程中,使用了DPT1000A功率器件測(cè)試系統(tǒng)中的氮化鎵測(cè)試電路,其中柵極探頭使用1GHz帶寬的TPP1000A,Vds測(cè)試使用800MHz帶寬的高壓?jiǎn)味颂筋^TPP0850,電流探頭使用T&M公司提供的2GHz電流傳感器。柵極驅(qū)動(dòng)芯片使用了TI公司的LM5114,可以最高提供7A的瞬態(tài)電流。在測(cè)試結(jié)果中可以看到,藍(lán)色的Vds波形在器件導(dǎo)通過(guò)程中電壓非常接近0V,表示功率器件在高壓下的硬開關(guān)操作,并沒(méi)有導(dǎo)致導(dǎo)通電壓的上升。
在實(shí)際測(cè)試結(jié)果中,器件的開啟延遲Tdon為15.06ns,上升時(shí)間Tr為11.1ns,關(guān)斷延遲為13.02ns,下降時(shí)間Tf為13ns。在高壓大電流的硬開關(guān)條件下實(shí)現(xiàn)了極高的開關(guān)速度。
為了進(jìn)一步檢驗(yàn)在高壓條件下的電流崩塌現(xiàn)象,我們通過(guò)使用鉗位探頭進(jìn)行動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻測(cè)試,觀察器件在不同電壓條件下的導(dǎo)通電阻值變化。我們分別在300V,400V,500V,600V四個(gè)不同電壓下測(cè)試器件的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻,即使用鉗位后的Vds與電流Id波形相除,得到器件在開啟后的導(dǎo)通電阻波形。對(duì)比四組動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻波形,并在相同區(qū)域內(nèi)取值做平均值計(jì)算,得到如下的結(jié)果:
上圖紅色區(qū)域?yàn)樵?00V,400V,500V,600V條件下雙脈沖測(cè)試得到的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻曲線
可以看到的是,隨著測(cè)試電壓的升高,器件動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻僅有非常小的抬升,600V與300V下的測(cè)試結(jié)果相比,僅上升6.4%,非常好的克服了氮化鎵器件在高壓條件下的電流崩塌現(xiàn)象。
結(jié)論
基于測(cè)試結(jié)果,可以看到遠(yuǎn)山半導(dǎo)體這次提供的氮化鎵功率器件在高電壓大電流條件下的良好表現(xiàn),打破了傳統(tǒng)氮化鎵器件額定電壓650V的限制,在雙脈沖測(cè)試中表現(xiàn)出了良好的穩(wěn)定性,在不同電壓下的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻測(cè)試也得到了非常一致的結(jié)果。
隨著高壓氮化鎵器件的普及,通過(guò)設(shè)計(jì)和工藝的改進(jìn)以及成本的進(jìn)一步下降,相信氮化鎵器件會(huì)在電力電子應(yīng)用市場(chǎng)取得更大的市場(chǎng)空間,為智能電網(wǎng)、電動(dòng)汽車、可再生能源系統(tǒng)等熱門領(lǐng)域提供了新的可能性。預(yù)約及更多了解泰克先進(jìn)半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室,https://www.tek.com.cn/cn-open-lab-2024。
關(guān)于遠(yuǎn)山半導(dǎo)體
遠(yuǎn)山半導(dǎo)體是一家專注于氮化鎵材料及功率器件研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè),擁有一支來(lái)自于中國(guó)、日本、美國(guó)的國(guó)際化核心技術(shù)團(tuán)隊(duì),具備“外延材料+芯片制造”的完整核心技術(shù)閉環(huán)與量產(chǎn)能力,主打面向新能源行業(yè)應(yīng)用的中高功率工業(yè)級(jí)氮化鎵功率器件。
關(guān)于泰克科技
泰克公司總部位于美國(guó)俄勒岡州畢佛頓市,致力提供創(chuàng)新、精確、操作簡(jiǎn)便的測(cè)試、測(cè)量和監(jiān)測(cè)解決方案,解決各種問(wèn)題,釋放洞察力,推動(dòng)創(chuàng)新能力。70多年來(lái),泰克一直走在數(shù)字時(shí)代前沿。歡迎加入我們的創(chuàng)新之旅,敬請(qǐng)登錄:tek.com.cn
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