壓力傳感器元件壓力測(cè)量方法詳解
發(fā)布時(shí)間:2020-07-28 責(zé)任編輯:lina
【導(dǎo)讀】壓阻傳感器的高精度及其測(cè)量絕對(duì)壓力、表壓和壓差的能力使其在廣泛的用途中得到了各種應(yīng)用。對(duì)于工業(yè)設(shè)備和機(jī)械,壓力傳感器提供的信息可以用于最有效地操作液壓或氣動(dòng)設(shè)備,進(jìn)而與新的工業(yè)4.0標(biāo)準(zhǔn)聯(lián)系在一起。
壓阻傳感器的高精度及其測(cè)量絕對(duì)壓力、表壓和壓差的能力使其在廣泛的用途中得到了各種應(yīng)用。對(duì)于工業(yè)設(shè)備和機(jī)械,壓力傳感器提供的信息可以用于最有效地操作液壓或氣動(dòng)設(shè)備,進(jìn)而與新的工業(yè)4.0標(biāo)準(zhǔn)聯(lián)系在一起。
汽車對(duì)燃料效率和減少有害排放的要求越來越高,需要長(zhǎng)期穩(wěn)定和高度精確的傳感器。除了介質(zhì)電阻外,一些用途要求壓力傳感器具有抗凍性,但最重要的是傳感器需要在整個(gè)壽命期間提供可靠的信號(hào)。
所有的用途都對(duì)壓力模具的獨(dú)特特性提出了越來越高的要求,需要在模具水平上具有特定的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。已經(jīng)開發(fā)了TDK壓力傳感器的產(chǎn)品系列,重點(diǎn)是提高靈敏度、高性能和較小的模具尺寸。此外,還特別注意介質(zhì)電阻和易處理能力的具體特點(diǎn)。
壓阻壓力傳感方法
壓阻壓力測(cè)量
絕對(duì)壓力測(cè)量 – 前側(cè)
絕對(duì)壓力測(cè)量 – 前側(cè)
在真空下將玻璃粘合到硅上,從而產(chǎn)生對(duì)照真空。被測(cè)量介質(zhì)與壓力傳感器元件芯片前側(cè)的有源電子元件接觸。
絕對(duì)壓力測(cè)量 – 背側(cè)
絕對(duì)壓力測(cè)量 – 背側(cè)
對(duì)于潮濕或腐蝕介質(zhì),使用附加的玻璃蓋在前側(cè)形成一個(gè)對(duì)照室。介質(zhì)應(yīng)用于背側(cè)入口。
表壓和壓差測(cè)量
表壓或壓差測(cè)量測(cè)量前側(cè)和背側(cè)之間的差異。較高的前側(cè)壓力引起的壓差導(dǎo)致輸出信號(hào)的正變化。較高的背側(cè)壓力導(dǎo)致輸出信號(hào)的負(fù)變化。
壓力傳感器模具的用途
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