瑞典Ionautics lonMeter：精準監(jiān)測電離分數(shù)與沉積通量，助力PVD/IPVD工藝與涂層質(zhì)量雙重提升

在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域，精確監(jiān)測沉積通量和電離分數(shù)對于優(yōu)化工藝參數(shù)和涂層質(zhì)量至關(guān)重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰(zhàn)提供了創(chuàng)新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平（QCM）技術(shù)，不僅實現(xiàn)了實時監(jiān)測，還通過一系列獨特設(shè)計，提升了電離分數(shù)監(jiān)測的準確性和可靠性。

　　關(guān)于lonMeter

　　lonMeter憑借其獨特的傳感器設(shè)計，能夠精確量化沉積通量中的電離分數(shù)，這對于深入理解電離機制及優(yōu)化電離參數(shù)至關(guān)重要。在加工過程中，它提供實時現(xiàn)場測量功能，使研究人員能夠即時調(diào)整工藝參數(shù)以確保產(chǎn)品質(zhì)量。為了確保電離分數(shù)監(jiān)測的準確性，lonMeter還配備了高效的磁屏蔽裝置，這一設(shè)計不僅有效避免了等離子體電子對診斷過程的干擾，同時確保了離子和中性物質(zhì)的順利傳輸，從而提供了更加準確和可靠的電離分數(shù)數(shù)據(jù)。與傳統(tǒng)的使用網(wǎng)格的解決方案相比，lonMeter的磁屏蔽裝置在阻擋電子方面表現(xiàn)出色，且專注于成膜材料的監(jiān)測，排除了雜質(zhì)干擾，使得數(shù)據(jù)更加可靠。lonMeter的應(yīng)用范圍廣泛，涵蓋了電離物理氣相沉積（IPVD）工藝的多個方面：

　　●  電離通量分數(shù)優(yōu)化：

　　通過實時監(jiān)測電離過程中的關(guān)鍵參數(shù)，lonMeter能夠幫助用戶優(yōu)化電離通量分數(shù)，提高工藝的穩(wěn)定性和效率。

　　●  過程穩(wěn)定性提升

　　lonMeter能夠監(jiān)測電離過程中的漂移，及時采取措施進行緩解，從而確保涂層質(zhì)量的一致性和可靠性。

　　●  涂層參數(shù)調(diào)整

　　通過調(diào)整電離參數(shù)，用戶可以利用lonMeter靈活調(diào)整涂層的應(yīng)力、硬度和電導(dǎo)率等關(guān)鍵性能，以滿足不同應(yīng)用場景的需求。

　　應(yīng)用優(yōu)化策略于多個領(lǐng)域：

　　1.電離物理氣相沉積(IPVD)中電離通量分數(shù)的優(yōu)化工藝

　　2.通過監(jiān)測和緩解電離過程中的漂移來實現(xiàn)過程穩(wěn)定

　　3.通過監(jiān)測和控制電離來調(diào)整涂層參數(shù)，如應(yīng)力、硬度和電導(dǎo)率

　　4.通過空間映射電離和沉積來優(yōu)化沉積系統(tǒng)設(shè)計

　　5.系統(tǒng)設(shè)計優(yōu)化，希望它均勻分布在空間中

　　6.在加工過程中現(xiàn)場優(yōu)化 PVD 源和磁體組設(shè)計

　　IonMeter產(chǎn)品規(guī)格

　　石英振蕩器類型: 6 MHz

　　頻率分辨率: ± 0.01 Hz，10次讀數(shù)/秒

　　頻率穩(wěn)定度: 總計± 2 ppm，0°至 50°C 范圍內(nèi)

　　水晶兌換: 前裝式獨立包裝，方便更換

　　通訊接口: USB

　　輸入電壓：USBC

　　環(huán)境規(guī)格：

　　無水冷時最高工作溫度：130°C

　　最小水冷流量時最高工作溫度：400°C

　　規(guī)范：CE 認證

　　尺寸和安裝

　　傳感器尺寸：待定

　　安裝：40CF（法蘭），1xBNC-Microdot和2x水

　　為何選擇lonMeter？

　　lonMeter不僅能夠輔助優(yōu)化電離物理氣相沉積工藝中的電離通量分數(shù)，穩(wěn)定工藝過程；還能夠通過監(jiān)測和控制電離來調(diào)整涂層參數(shù)，滿足多樣化需求；同時，通過繪制電離和沉積的空間分布圖，lonMeter還能夠輔助沉積系統(tǒng)布局、PVD源和磁鐵組的優(yōu)化設(shè)計，提高沉積效率和涂層質(zhì)量，為研究人員提供了便利。

　　lonMeter作為瑞典Ionautics公司提供的創(chuàng)新解決方案，憑借其基于石英晶體微天平（QCM）技術(shù)的獨特設(shè)計和高效磁屏蔽裝置，在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域展現(xiàn)出了卓越的性能。它不僅實現(xiàn)了對沉積通量和電離分數(shù)的精確監(jiān)測，還通過實時監(jiān)測和現(xiàn)場優(yōu)化策略，顯著提升了工藝參數(shù)的優(yōu)化能力和涂層質(zhì)量的穩(wěn)定性。無論是在電離通量分數(shù)的優(yōu)化、過程穩(wěn)定性的提升，還是在涂層參數(shù)的調(diào)整、沉積系統(tǒng)設(shè)計的優(yōu)化以及沉積過程中的現(xiàn)場優(yōu)化方面，lonMeter都展現(xiàn)出了其優(yōu)勢。對于致力于提升PVD和IPVD工藝水平的研究人員和工程師而言，選擇lonMeter它將為您的研究和生產(chǎn)工作帶來便利和效益。